■研究概要
工作機械主軸の回転振れを高精度に測定する技術開発。従来の測定では静電容量型変位計を使って行うものがほとんどですが、本研究は磁気抵抗素子を利用している点で従来法と異なります。磁気抵抗素子を応用したこの測定技術は、構造が簡単で応答性に優れ、サブミクロンの変位測定が可能です。
この他、本測定原理を応用して、工作機械テーブルの円運動精度測定技術の開発にも取り組んでいます。円運動精度測定ではレーザ光測定を利用したDDB（ダブルボールバー法）がよく用いられますが、本研究は磁気を利用している点で従来法とは異なります。今回は、これらの研究紹介とともに、応用分野について意見交換したいと思っています。

■用途・応用分野
工作機械の精度測定、インプロセス測定、ナノメートル計測等